ГОСТ РФ
Общероссийский классификатор стандартов → ЭЛЕКТРОТЕХНИКА → Полупроводниковые материалы
ГОСТ 26239.8-84. Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом
| Название на англ.: | Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Число страниц: | 9 |
| Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
| Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
| Дата издания: | 21.01.1985 |
| Дата введения в действие: | 01.01.1986 |
| Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
