ГОСТ РФ
Общероссийский классификатор стандартов → ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ *Измерение потока жидкости см. 17.120 → Вакуумная технология *Включая вакуумные насосы
23.160. Вакуумная технология *Включая вакуумные насосы
- Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры
Vacuum equipment. Turning screw flanges. Basic and allied dimensions
Настоящий стандарт распространяется на поворные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных и накидных фланцев, распорных и центрирующих колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5 - Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры
Vacuum equipment. Turning screw flanges. Basic and allied dimensions
Настоящий стандарт распространяется на поворные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных и накидных фланцев, распорных и центрирующих колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5 - Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники - Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники - Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники - Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры
Vacuum equipment. Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions
Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5 - Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры
Vacuum equipment. Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions
Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5 - Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры
Vacuum equipment. Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions
Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5 - Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры
Vacuum equipment. Connections of vacuum pipe-lines. Mounting dimensions
Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5 - Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры
Vacuum equipment. Connections of vacuum pipe-lines. Mounting dimensions
Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5