ГОСТ РФ

Общероссийский классификатор стандартов → МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ → Метрология и измерения в целом *Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д. *Величины и единицы измерений см. 01.060 *Химические эталонные материалы см. 71.040.30

ГОСТ 8.605-2011. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов

Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений эллипсометрических углов Дельта и Пси - разность фаз между двумя ортогональными р- и s-компонентами вектора напряженности электрического поля световой волны, отраженной или прошедшей через исследуемый объект, tg Пси - отношение амплитуд р- и s -компонент вектора напряженности электрического поля световой волны) для оптического излучения в видимой области спектра и устанавливает назначение государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов - градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единиц эллипсометрических углов от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го и 2-го разрядов рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц