ГОСТ РФ
Общероссийский классификатор стандартов → МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ → Метрология и измерения в целом *Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д. *Величины и единицы измерений см. 01.060 *Химические эталонные материалы см. 71.040.30
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
| Название на англ.: | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Число страниц: | 15 |
| Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
| Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
| Дата издания: | 15.05.2008 |
| Дата введения в действие: | 01.01.2009 |
| Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
